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半導(dǎo)體制造產(chǎn)線是否需要伺服?

半導(dǎo)體制造產(chǎn)線通常需要使用伺服系統(tǒng)來(lái)實(shí)現(xiàn)高精度的位置控制和運(yùn)動(dòng)控制。

在半導(dǎo)體制造過(guò)程中,需要對(duì)硅片進(jìn)行多次加工和處理,如切割、清洗、薄膜沉積、光刻等。這些加工和處理過(guò)程需要高精度的位置控制和運(yùn)動(dòng)控制,以確保加工和處理的精度和穩(wěn)定性。

相比傳統(tǒng)的步進(jìn)電機(jī),伺服系統(tǒng)具有更高的精度和穩(wěn)定性,可以通過(guò)閉環(huán)控制系統(tǒng)來(lái)實(shí)現(xiàn)更加精準(zhǔn)的位置控制和運(yùn)動(dòng)控制。因此,在半導(dǎo)體制造產(chǎn)線中,伺服系統(tǒng)被廣泛應(yīng)用于各種設(shè)備和機(jī)器人,如切割機(jī)、清洗機(jī)、薄膜沉積設(shè)備、光刻機(jī)等。

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